[发明专利]探针显微镜的操作方法

摘要

提高探针显微镜的精度和速度的方法。对相关数据点的直接几何测量允许更快地确定关键尺寸，同时通过最小化系统漂移提高测量精度。通过基于偏斜的测量进一步提高精度和生产能力。通过对探针尖(20)使用斜逼近轨迹，提高了对软接触的灵敏度。并且通过使用横向力检测在提高生产能力的同时降低了针尖和/或表面损伤的危险性。

主权项

1、用于确定样品上的特征的至少一个尺寸的方法，所述特征具有期望的构形以及已知的近似位置，该方法包括：将样品装入具有探针尖的探针显微镜；确定足以定位该特征的多个定位数据点的数量和位置；在每个定位数据点测量与所述样品的高度相关的数据；从与每个定位数据点处的所述样品的高度相关的数据确定该特征的位置；从该特征的期望的构形和所述特征的位置确定足以确定所述特征的至少一个尺寸的多个相关数据点的数量和位置；测量与每个相关数据点处所述样品的高度相关的数据；以及从与每个相关数据点处所述样品的高度相关的数据的值确定所述特征尺寸。