[发明专利]运用激光激化气体的清洗方法及装置无效
| 申请号： | 200510006256.4 | 申请日： | 2005-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN1814361A | 公开（公告）日： | 2006-08-09 |
| 发明（设计）人： | 杨胜仲;黄俊诚;陈进和 | 申请（专利权）人： | 财团法人金属工业研究发展中心 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王玉双;潘培坤 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明一种运用激光激化气体的清洗方法及装置，该清洗装置先进行提供一待清洗基板步骤，将表面分布有表面污染物的基板夹持固定于该夹持治具，再进行喷雾气体于基板表面步骤，利用气体产生装置产生固态气体分子雪花，并喷发于该基板表面，当该基板表面的雪花挥发升华为气体时，再进行激光照射待清洗基板表面步骤，利用该激光产生装置所产生的激光束，照射于基板表面及其表面的雪花，该基板表面受到激光照射后加速雪花升华及膨胀爆炸，进而驱使该附着于待清洗基板上的表面污染物脱离该待清洗基板，最后，为完成基板表面清洗步骤，该基板表面得到洗净。 | ||
| 搜索关键词： | 运用 激光 激化 气体 清洗 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种激光激化气体的清洗方法，用以进行清洗基板，其中包含：提供一待清洗基板，该待清洗基板表面分布有表面污染物；进行喷雾气体于待清洗基板表面，将固态气体分子雪花喷发于待清洗基板表面；以及进行激光照射待清洗基板表面，将激光束照射于该待清洗基板表面及表面的固态气体分子雪花，加速该待清洗基板表面的固态气体分子雪花升华及膨胀爆炸，驱使该表面污染物脱离该待清洗基板。
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