[发明专利]真空蒸镀机

摘要

本发明涉及真空蒸镀机。通过在真空蒸镀机上设置对于从蒸发室(19a)、(19b)侧朝混合室(22)侧流入的蒸镀材料(16a)、(16b)的蒸气量在玻璃基板(12)的板宽度方向L均匀地控制的阀部件(21)；以及在玻璃基板(12)的下面侧以平行于玻璃基板(12)的被蒸镀面的方式配置，且在蒸镀室(25a)内对在混合室(22)中混合的蒸镀材料(16a)、(16b)的蒸气进行面内分布和流动的调整的多孔挡板(23)，从而谋求对于玻璃基板(12)的板宽度方向L的蒸镀均匀化。由此，本发明能够提供一种即使对大型基板也能形成蒸镀材料的蒸气的均匀流动同时，还能控制蒸气分布，从而能够对蒸镀进行均匀化的真空蒸镀机。

主权项

1.一种真空蒸镀机，其特征是，包含以下各部分：设置在真空容器内并运送基板的运送机构；设置在所述基板的下面侧，且至少具有与所述基板的运送方向垂直的方向即板宽度方向的被蒸镀区域的长度的蒸镀室；设置在所述真空容器的下方侧，通过气化或者升华多个蒸镀材料而产生所述多个蒸镀材料的蒸气的蒸发室；至少具有在所述基板的所述板宽度方向上的被蒸镀区域的长度，同时对沿所述基板的所述板宽度方向上的来自所述蒸发室的所述蒸镀材料的蒸气量进行控制的多个蒸气量控制机构；面向所述多个蒸气量控制机构，对所述蒸气材料的蒸气进行混合的混合室；对从所述蒸发室到所述蒸镀室的真空容器的壁面进行加热的加热机构，其中，所述蒸气量控制机构又包含以下各部分：在所述基板的所述板宽度方向上，具备多个入口孔和与其对应的多个出口孔的块部件；以可转动的方式嵌合在所述块部件内，且在所述基板的所述板宽度方向排列设置多个的圆柱形轴部件；设置在各个所述轴部件上，且连通所述一个入口孔和与其对应的所述一个出口孔的连通孔。