[发明专利]平面式气体传感器衬底上敏感材料的涂覆方法

摘要

本发明提供了一种平面式气体传感器衬底上敏感材料的涂覆方法，包括如下步骤：1)处理敏感材料：将无机粉体敏感材料研磨至颗粒直径为0.5至5微米的粉体，与有机溶剂混合均匀，制成敏感浆料；2)衬底的活化预处理：衬底置于浓度为0.02mol/l至0.1mol/l的过渡金属氯化物溶液中浸泡10至60秒钟；将浸泡过的衬底用压缩空气吹干；将吹干的衬底置于氮气保护下，在200℃至500℃温度范围内恒温退火20至60分钟；3)涂料：利用微量点胶机涂覆薄膜，将敏感浆料涂覆在衬底上。其中，步骤1)和2)可以分别进行，也可以同时进行，均能实现本发明提供的方法。

主权项

1.一种平面式气体传感器衬底上敏感材料的涂覆方法，包括如下步骤：1)处理敏感材料：将无机粉体敏感材料研磨至颗粒直径为0.5至5微米的粉体，与有机溶剂混合均匀，制成敏感浆料；2)涂料：利用微量点胶机涂覆薄膜，将敏感浆料涂覆在衬底上；其中，所述的有机溶剂可以是酞箐铜、聚乙烯醇、醋酸纤维素和聚乙二醇中的任一种的乙醇溶液；其中，所述的无机粉体敏感材料选自：ZnO、SnO2、TiO2、WO3、Fe2O3、Al2O3、CuO、ThO3、Sb2O3、MgO、La2O3、Sm2O3、In2O3、LnBO3、CaO、PdO、Y2O3、AgO、V2O5、CeO2、Co2O3、NiO、CoTiO3、MnO2、SiO2、Cr2O3、BaTiO3、CdIn2O4、Ga2O3。