[发明专利]步进扫描投影光刻机同步总线控制器及同步控制系统

摘要

一种同步总线控制器，使用内部自定义同步总线和外部同步信号，以同步总线的最小时间单元数据传输周期作为同步时间基准，通过数据传输周期FIFO队列和“时间－命令”FIFO队列产生精准的时间控制点，实现步进扫描投影光刻机各个子模块之间的严格同步过程。本发明还提供了用于实现同步总线控制器功能的步进扫描投影光刻机同步控制系统，包括上位机、工控机CPU板、运动控制卡、激光计数卡、对准控制系统和照明控制系统，同步总线控制器通过同步总线实时向运动控制卡发布同步信息，并同时向对准控制系统和照明控制系统发送同步触发信号，以保证连续曝光扫描控制中工件台、掩模台、曝光剂量以及狭缝运动完全同步。

主权项

1、一种步进扫描投影光刻机同步总线控制器，其特征在于：它通过三类同步信号实现内部和外部分系统的同步：①同步状态广播，②单线同步信号，③同步触发信号，其中：同步状态广播，是在同步广播数据传输周期中向同步总线提供当前的扫描状态；单线同步信号是一种外同步信号，用以同步与同步总线控制器不在同一个VME机箱内的外部控制板卡，应用于对照明控制系统和对准控制系统的同步；同步触发信号是连续的周期触发脉冲，用以同步外部分系统与激光计数卡的采样时刻密切相关的同步动作，并且以激光计数卡采样时刻作为时基。