[发明专利]步进扫描投影光刻机中的杂散光原位检测方法有效
| 申请号： | 200510024229.X | 申请日： | 2005-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN1655064A | 公开（公告）日： | 2005-08-17 |
| 发明（设计）人： | 郭立萍;王向朝 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01M11/00 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 201203上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种步进扫描投影光刻机中杂散光的原位检测方法。通过四个狭缝刀口的准确定位在物面(即掩模面)上限定一个光斑并通过投影物镜成像在工件台上，能量传感器测得光斑像中心处光强为I0，依次完成M×N个光斑的测量，然后狭缝打开，测量上述测量点光强为I1，杂散光系数由公式(I1－I0)/I0计算，完成整个视场中杂散光测量，若杂散光超出曝光系统要求的指标，分析杂散光来源：利用特制掩模与两个狭缝刀口限定一光斑，此光斑经投影物镜成像，能量传感器测量像光斑内的光强分布，根据测得的光强分布分析杂散光是来自照明系统还是投影物镜。它解决现有方法均只能测量杂散光的大小，不能区分杂散光来源的技术问题，为采取消除杂散光措施提供了有效依据。 | ||
| 搜索关键词： | 步进 扫描 投影 光刻 中的 散光 原位 检测 方法 | ||
【主权项】：
1、一种步进扫描投影光刻机中的杂散光原位检测方法，其特征在于：通过四个狭缝刀口的准确定位在物面(即掩模面)上限定一个光斑，此光斑通过投影物镜成像在工件台上，工件台上的能量传感器测得此光斑像的中心处的光强为I0，按照以上步骤依次完成M×N个光斑的测量，然后把狭缝打开，再次测量上述测量点的光强为I1，杂散光系数由公式(I1-I0)/I0计算，这样就完成了整个视场中杂散光的测量，如果杂散光超出曝光系统要求的指标，采用如下方法分析杂散光的来源：利用特制掩模与两个狭缝刀口限定一个光斑，此光斑经过投影物镜成像，工件台上的能量传感器测量像光斑内的光强分布，根据测得的光强分布分析杂散光是来自照明系统，还是来自投影物镜。
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