[发明专利]用于投影光刻机的调焦调平传感器有效
| 申请号： | 200510025793.3 | 申请日： | 2005-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN1700101A | 公开（公告）日： | 2005-11-23 |
| 发明（设计）人： | 胡建明;王向朝;曾爱军 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/207 | 分类号： | G03F7/207 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 201203上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及投影光刻机的调焦调平传感器与调焦调平技术，特别是一种具有投影光栅和探测光栅的调焦调平传感器。它包括相互垂直的两个分支，每分支包括两路测量光路和两路参考光路，测量光路测量基板表面相对投影物镜最佳焦面的高度，参考光路测量投影物镜下表面的高度，并且每一个分支的四路光路共用成像系统，该测量光路中具有改变测量光斑的大小的可变光阑。本发明可以灵活地测量不同大小的曝光视场，增大了调焦调平传感器的测量范围，提高了芯片设计和生产的灵活性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 投影 光刻 调焦 传感器 | ||
【主权项】：
1、一种用于投影光刻机的调焦调平传感器，包括相互垂直的两个分支，每分支包括两路测量光路和两路参考光路，测量光路测量基板表面相对投影物镜最佳焦面的高度，参考光路测量投影物镜下表面的高度，并且每一个分支的四路光路共用成像系统，其特征在于：该测量光路中具有改变测量光斑的大小的可变光阑(13)。
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