[发明专利]一种测量焦平面探测器低温形变的方法及专用杜瓦

摘要

本发明公开了一种测量焦平面探测器低温形变的方法及专用杜瓦，它是采用非接触式高度测试原理测量的，被测样品安装在液氮制冷的特制杜瓦内、被测样品自由状态的安装，避免了机械安装引入的外应力对低温形变的影响，使数据真实反映样品低温应变数据。特制的杜瓦有温度传感器监测，可实时监测被测样品的温度。采用的测试方法剔除了样品本身不平行度对形变结果的影响。本项发明的测试装置、测试方法及数据处理方法，解决了低温形变的数值测量问题。

主权项

1.一种测量焦平面探测器低温形变的方法，其特征在于：具体步骤如下：A.被测样品安装：将被测样品(16)用导热脂直接贴在杜瓦的冷平面(8)上，然后对杜瓦进行真空排气，使其真空度达到1×10-3τ以上，以达到良好的隔热效果；排气完成的杜瓦用螺钉刚性固定在高度测试仪的X、Y轴精密移动平台(17)上，杜瓦轴线与移动平台严格垂直；B.测试方法：在完成上述步骤后，首先进行室温下的测试：选择被测样品某一参考点为原点建立座标系统，高度测试仪的移动平台(17)带动被测样品在X、Y平面内移动，移到各预定测试点，记录各点座标值，同时由高度测试仪测出各相应点的高度值并一一对应记录，得到一组室温下的各测试点的三维座标值；然后将液氮输入杜瓦内，待被测样品达到要求的温度以后，再次测试，方法与室温测试相同，这样得到室温、低温二组数据，经过对二组数据的相减处理，得到被测样品从室温到低温下，由于热胀系数差异导致的被测样品弯曲程度的变化数值。