[发明专利]室温法布里－珀罗红外探测器阵列及其制作方法

摘要

本发明涉及一种室温F－P红外探测器阵列及制作方法，其特征在于硅基底和可动微镜之间构成了红外谐振腔，可动微镜和带有高反膜的玻璃之间构成F－P腔。其制作特征在于采用普通硅片，首先通过腐蚀硅确定F－P腔的长度，通过制作牺牲层确定红外谐振腔的长度，在牺牲层上淀积氮化硅、铝或金薄膜，光刻并刻蚀出微镜图案，随后去掉牺牲层材料，释放可动微镜，最后在真空中作硅－玻璃键合，形成F－P腔。本发明的优点在于：采用体硅与表面牺牲层技术相结合的工艺，可方便的制作出符合要求的红外谐振腔和F－P腔，提高了器件的红外探测性能，同时在工艺过程即实现了红外探测器阵列的真空封装，不需要专门的真空封装，简化了工艺，保证了器件的性能。

主权项

1、一种室温法布里—珀罗红外探测器阵列，其特征在于它是由基底、m×n的可动微镜阵列和带高反膜的玻璃组成；硅基底和m×n的可动微镜阵列之间构成红外谐振腔，m×n的可动微镜阵列和带高反膜的玻璃间构成法布里—珀罗腔，可动微镜的反射面和固定镜面的反射面是法布里—珀罗腔的两个反射面。