[发明专利]一种由硅和二氧化硅共同支撑的可移动微结构及制作方法无效
| 申请号： | 200510028753.4 | 申请日： | 2005-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN1736850A | 公开（公告）日： | 2006-02-22 |
| 发明（设计）人： | 龙文华;杨建义;李广波;贾科淼;王跃林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | B81B5/00 | 分类号： | B81B5/00;B81C1/00;G02B26/00;G02B26/06 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种由硅和二氧化硅共同支撑的可移动微结构及其制备方法。针对微观下静电驱动力小的问题，采用硅梁和二氧化硅膜作为共同支撑部件，共同支撑中间可动部件。既增加了支撑强度又提高了静电力驱动下的位移；针对用梁支撑的可动结构在后续工艺中粘上杂质和被腐蚀液破坏的问题，采用二氧化硅膜作保护，使结构在后续工艺中不被污染破坏，增加了提高器件制作工艺的可选择性。其制备方法是通过硅片上制作出图形，键合到衬底上，然后从背面减薄硅片上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 二氧化硅 共同 支撑 移动 微结构 制作方法 | ||
【主权项】：
1、一种由硅和二氧化硅共同支撑的可移动微结构，由衬底和减薄后的硅片组成，其特征在于硅梁和二氧化硅膜支撑中间可动部件，硅梁位于二氧化硅膜上面。
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