[发明专利]一种用离子束加工双铜环夹持的透射样品制备方法

摘要

本发明属于一种用聚焦离子束加工双铜环夹持的透射电镜样品制备方法。将用于夹持透射电镜样品的双铜环一端垂直固定在夹持器上，另一端加工成为一个145～160度的扇形开口；然后将预制样品平行固定在扇形开口上，即保持加工样品与夹具固定台平行；采用双束聚焦离子束对所需加工薄区样品进行精确定位，垂直从两侧剥离，直至加工到透射电镜观察所需厚度；最后从样品夹持器上取下双铜环，折叠双铜环中下环，固定已经加工完毕的透射电镜样品，以备观察使用。本发明采用双环沟槽法代替样品室内取出和样品室外静电吸附取出的方法，简单易行，可以制备出符合高分辨透射电镜需求的样品，避免了污染和碰撞，较好的反映需要分析的样品本征结构。

主权项

1.一种用离子束加工双铜环夹持的透射样品制备方法，其特征在于由以下步骤完成：1)在透射电镜专用双铜环上环(1-2)开一个为145～160度的扇形开口，并且将样品(1-1)的需加工薄区预磨至厚度30～50微米，利用导电胶将预制的样品两端水平固定在扇形开口两侧，保持加工样品与夹具固定台平行，需要制备表征的位置向上；2)把固定有需加工薄区(1-7)的双铜环下环(1-3)利用紧固螺栓(1-4)垂直固定在夹具固定台(1-6)上，同时使得所需加工样品(1-1)与双铜环上环(1-2)和双铜环下环(1-3)保持在同一水平面；3)采用双束聚焦离子束对所需加工样品(1-1)的薄区(1-7)进行精确定位，垂直从两侧剥离，制备沟槽，同时保持中间特征区，直至厚度达到透射电镜观察需要。