[发明专利]一种微纳结构的惯性传感器本体及其制作方法

摘要

本发明涉及一种微纳结构的惯性传感器本体包括：硅基底和在其上设置的绝缘层，2个条带形电极设置在绝缘层上部的两边；2组一维纳米材料的谐振梁分别搭放在质量块与第一电极，和质量块与第二电极之间，或一组谐振梁经过质量块从第一电极搭到第二电极上，谐振梁在与电极和质量块的接触面处固定；质量块位于绝缘层上部的中心处，质量块在谐振梁的支撑下悬空；整个基底作为驱动电极，硅基底上的绝缘层开有一个窗形成压焊盘，作为底电极的引出接头；第一电极和第二电极分别有引线与压焊盘相连；同时，一维纳米材料也作为质量块与电极和电极实现电连接的电引线。本发明的制法包括以硅片为基底材料，对硅片表面微加工和进行一维纳米材料的定向组装实现。

主权项

1、一种微纳结构的惯性传感器本体包括：一硅基底1和在其上设置的绝缘层(2)，在绝缘层(2)上部固定的电极，电极上部固定有谐振梁(5)、电极引线，以及一质量块(6)，其特征在于，所述电极为(2)个条带形，分别设置在基体绝缘层(2)上部的两边；所述谐振梁(5)为2组一维纳米材料，该2组谐振梁分别搭放在质量块(6)与第一电极(3)和质量块(6)与第二电极4之间，或者所述谐振梁(5)为一组，该一组谐振梁(5)经过质量块(6)从第一电极(3)搭到第二电极(4)上，谐振梁(5)在与电极和质量块的接触面处固定；所述质量块(6)位于绝缘层(2)上部的中心处，质量块在谐振梁的支撑下悬空，绝缘层(2)与质量块(6)之间的间隙为0.3μm-4μm；整个基底(1)作为驱动电极，硅基底(1)上的绝缘层(2)开有一个窗形成压焊盘(9)，作为底电极的引出接头；第一电极(3)和第二电极(4)分别有引线与压焊盘(7)和(8)相连；同时，一维纳米材料也作为质量块(6)与电极(3)和电极(4)实现电连接的电引线。