[发明专利]多腔等离子体处理系统有效
| 申请号： | 200510087625.7 | 申请日： | 2005-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN1897786A | 公开（公告）日： | 2007-01-17 |
| 发明（设计）人： | 魏淳任 | 申请（专利权）人： | 新动力等离子体株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/02 | 分类号： | H05H1/02;H05H1/24 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 钟强;关兆辉 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 提供一种可整体提高多腔的生产能力的多腔等离子体处理系统，具中，多腔等离子体处理系统具有多个处理腔；分别具有感应耦合等离子体生成器，感应耦合等离子体生成器经由第一阻抗匹配器和主电源提供源电连接；第一阻抗匹配器至少具有一个可变电感器；各感应耦合等离子体生成器的点火电极和由可变变压器构成的点火源提供源并联；第一阻抗匹配器的可变电感器和点火电源提供源的可变变压器由控制部控制；多个处理腔分别具有等离子体密度调节器；等离子体密度调节器由控制部控制，调节各个处理腔的等离子体密度。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 处理 系统 | ||
【主权项】：
1.一种多腔等离子体处理系统，包括：多个处理腔，分别具有感应耦合等离子体生成器；主电源提供源，提供RF电源，用于由各个感应耦合等离子体生成器生成等离子体；第一阻抗匹配器，连接在主电源提供源和感应耦合等离子体生成器之间；点火电源提供部，从主电源提供源接收RF电源，并将点火电源提供给感应耦合等离子体生成器所具有的点火电极；多个偏压电源，分别向多个处理腔所具有的各个感受器提供偏压电源；多个第二阻抗匹配器，连接在多个处理腔所具有的各个感受器和与之相对应的偏压电源之间；以及控制部，控制第一阻抗匹配器和多个第二阻抗匹配器及点火电源提供源。
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