[发明专利]自动派工方法及系统以及以此方法制造的集成电路产品无效
申请号: | 200510105191.9 | 申请日: | 2005-09-30 |
公开(公告)号: | CN1763666A | 公开(公告)日: | 2006-04-26 |
发明(设计)人: | 梁柏雄;许显荣;汪明 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | G05B15/02 | 分类号: | G05B15/02;G06F17/00;G06F17/30;H01L21/02 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人: | 刘新宇 |
地址: | 台湾省新竹科学*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明提供一种自动派工方法及系统以及以此方法制造的集成电路产品,具体涉及一种计算机可实现的自动派工方法,其适用于以载具进行馈入的批次制程设备中。本发明所提的方法及系统首先将载具的目前占有率与最佳占有率进行比较,当载具的目前占有率小于最佳占有率时,保留载具所载物件的分配信息,并将载具中的物件进行结合。然后,由批次制程设备处理已结合的物件。于处理完成后,根据所保留的分配信息将物件分配于载具中。本发明所述的自动派工方法及系统以及以此方法制造的集成电路产品,有效地解决批次制程设备因载具占有率不足所导致的效能问题。 | ||
搜索关键词: | 自动 方法 系统 以及 以此 制造 集成电路 产品 | ||
【主权项】:
1.一种计算机可实现的自动派工方法,其适用于以至少一载具进行馈入的一批次制程设备中,其特征在于所述计算机可实现的自动派工方法包括下列步骤:将上述载具的目前占有率与一最佳占有率进行比较;以及当上述载具的目前占有率小于上述最佳占有率时,保留上述载具所载物件的分配信息,并将上述载具中的物件进行结合。
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