[发明专利]基板输送装置无效
| 申请号： | 200510107959.6 | 申请日： | 2005-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN1754796A | 公开（公告）日： | 2006-04-05 |
| 发明（设计）人： | 田上真也 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | B65G49/07 | 分类号： | B65G49/07;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板输送装置，将被处理基板放在臂部件上，对基板处理部进行基板的送入送出，即使是大型被处理基板，也能利用设置于臂部件上的吸附垫片来可靠地吸附基板面，不会使基板松动来可靠地保持。基板输送装置(41)包括具有多个吸附垫片(56)的臂部件(51)，将被处理基板(G)放置在吸附垫片(56)上，对基板处理部进行被处理基板(G)的送入送出，其具有使吸附垫片(56)振动的振动设备；驱动振动设备的振动驱动设备(57)；和进行振动驱动设备(57)工作控制的控制设备(58)，在将被处理基板(G)放置在吸附垫片(56)上时，控制设备(58)由振动驱动设备(57)使振动设备工作，而使吸附垫片(56)振动。 | ||
| 搜索关键词： | 输送 装置 | ||
【主权项】：
1.一种基板输送装置，包括具有多个吸附垫片的臂部件，将被处理基板放置在所述吸附垫片上，对基板处理部进行被处理基板的送入送出，所述基板输送装置的特征在于：包括使所述吸附垫片振动的振动设备；驱动所述振动设备的振动驱动设备；和进行所述振动驱动设备的工作控制的控制设备，在将被处理基板放置在所述吸附垫片上时，所述控制设备利用所述振动驱动设备使所述振动设备工作，从而使吸附垫片振动。
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