[发明专利]电子源、以及包括这种电子源的带电粒子设备有效
| 申请号： | 200510108934.8 | 申请日： | 2005-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN1808683A | 公开（公告）日： | 2006-07-26 |
| 发明（设计）人： | N·德荣格;E·P·A·M·巴克斯;L·F·菲纳;A·M·卡沃萨 | 申请（专利权）人： | FEI公司;皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/06 | 分类号： | H01J37/06;H01J37/26;H01J9/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 杨凯;张志醒 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供适于用在带电粒子设备中的电子源，在该电子源中，可从受到电势、热激励和光子激励中的至少一个的电极提取电子束，由此至少部分电极包括量化为分立能级的传导带的半导体材料。这种电子源具有相对低的能量扩展度，通常比冷场致发射枪(CFEG)的能量扩展度小得多。所述半导体材料可例如包括半导体毫微线。用于这种毫微线的适当半导体材料的实例包括InAs和GaInAs。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 以及 包括 这种 带电 粒子 设备 | ||
【主权项】：
1.一种电子源，适用于带电粒子设备中，在该电子源中，从经受电势、热激励和光子激励中的至少一种的电极提取电子束，其特征在于，至少一部分所述电极包括具有量化为分立能级的传导带的半导体材料。
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