[发明专利]统计制程分析系统、计算机执行的用于统计制程分析方法有效
| 申请号： | 200510115878.0 | 申请日： | 2005-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN1790312A | 公开（公告）日： | 2006-06-21 |
| 发明（设计）人： | 黄明彰;陈明发 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G06F17/00 | 分类号： | G06F17/00;G06F17/40;G06F19/00;G06Q50/00;G05B19/418;G05B23/00;H01L21/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人： | 刘新宇;罗迎难 |
| 地址： | 台湾省新竹科学*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种统计制程分析系统、计算机执行的用于统计制程分析方法，所述用于统计制程分析的系统，其包括一储存装置、一控制装置、及一侦测装置。该储存装置，其是用以储存多个统计制程分析图表，其中该统计制程分析图表是包含在测试期间从一系统收集来的数据。该控制装置，其是依据该统计制程分析图表的特征，将该统计制程分析图表区分为多个类型。该侦测装置，其是用以决定上述类型中的统计制程分析图表是否违背一预定规则。本发明可在制造环境中对大量数据进行收集、分析和判断，以实现对制程快速、有效的控制。 | ||
| 搜索关键词： | 统计 分析 系统 计算机 执行 用于 方法 | ||
【主权项】：
1、一种用于统计制程分析的系统，其特征在于，所述用于统计制程分析的系统包括：一储存装置，其是用以储存多个统计制程分析图表，其中该统计制程分析图表是包含在测试期间从一系统收集来的数据；一控制装置，其是依据该统计制程分析图表的特征，将该统计制程分析图表区分为多个类型；以及一侦测装置，其是用以决定上述类型中的统计制程分析图表是否违背一预定规则。
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