[发明专利]表面性状测定用探针以及采用该探针的显微镜

摘要

一种表面性状测定用探针(60)，具有：探针头(65)、第1支承体(61)、第2支承体(62)、压电元件(63)、平衡器(64)。第1支承体具有：第1支承部(611)；3根梁(613)，其从等角度配置于第1支承部上的位置朝向中央延伸，用于将探针头(65)支承于其顶端。第2支承体(62)具有：第2支承部(621)；保持部(622)，其由多根梁(623)支承，该多根梁从等角度配置于该第2支承部上的位置朝向中央延伸。压电元件(63)配置于探针头与保持部之间，且沿轴向振动。

主权项

1.一种表面性状测定用探针，其用在表面性状测定装置中，该表面性状测定装置一边沿被测定物的表面扫描，一边对测定被测定物的表面性状进行测定，其特征在于，其具有：探针头、支承该探针头的第1支承体、与该第1支承体接合的第2支承体、配置于该第1和第2支承体之间的振动元件，上述第1支承体包括：第1支承部，其具有内部空间；多根梁，其从等角度配置于该第1支承部上的位置朝向内部空间中央延伸，将上述探针头支承在第1支承部的内部空间中央，上述第2支承体包括：第2支承部，其与上述第1支承部接合并且具有内部空间；多根梁，其从等角度配置于该第2支承部上的位置朝向内部空间中央延伸；保持部，其通过该多根梁而被支承于第2支承部的内部空间中央，上述振动元件配置于上述探针头与上述第2支承体的保持部之间，且沿贯穿上述第1、第2支承体中央的轴的轴向振动。