[发明专利]冷却盘、烘焙单元和基板处理设备有效
| 申请号： | 200510123421.4 | 申请日： | 2005-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN1955849A | 公开（公告）日： | 2007-05-02 |
| 发明（设计）人： | 崔晋荣;咸俊镐;金泰洙;李东法 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/26 | 分类号： | G03F7/26;H01L21/027;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 武玉琴;胡育昌 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种烘焙单元，包括用于冷却基板的冷却盘和用于将基板装于冷却盘上的升降柱组件。当晶片在冷却盘上冷却时，在该冷却盘上有引导槽，其使该晶片与冷却盘之间有与外面连通的空隙。这样，使该空隙的内部气压与其外部气压维持一致。 | ||
| 搜索关键词： | 冷却 烘焙 单元 处理 设备 | ||
【主权项】：
1.一种用于集成电路(IC)制造中的烘焙单元，包含：在其上装载基板的盘；和设在该盘上用以加热或者冷却装在该盘上的基板的温度控制元件，其中，所述盘的顶部表面有引导通道，用于该盘上装有基板时把外部空气导入基板与该盘之间的空隙。
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