[发明专利]相异材料的气相沉积无效
| 申请号： | 200510125476.9 | 申请日： | 2005-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN1776001A | 公开（公告）日： | 2006-05-24 |
| 发明（设计）人： | I·V·贝洛索夫;I·S·马拉申科;G·A·塞尔希延科;A·N·舍尔科沃伊;R·L·梅门;D·A·拉茨;M·D·金斯特勒 | 申请（专利权）人： | 联合工艺公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/14 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 范赤;段晓玲 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种在衬底上沉积第一材料的方法，包括在沉积室中提供衬底。通过熔化一种或多种第二材料在衬底和第一材料源之间形成熔体。使第一材料流通过熔体，并以蒸汽流形式从熔体到衬底。熔体的基本非消耗部分包括熔化温度低于第一材料熔化温度的合金。 | ||
| 搜索关键词： | 相异 材料 沉积 | ||
【主权项】：
1.一种在衬底上沉积第一材料的方法，包括：在沉积室中提供衬底；和通过熔化一种或多种第二材料在衬底和第一材料源之间形成熔体；使第一材料流通过熔体，并以蒸汽流形式从熔体到衬底，其中熔体的基本非消耗部分包括熔化温度低于第一材料熔化温度的合金。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于联合工艺公司，未经联合工艺公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200510125476.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：伴侣按摩器
- 下一篇：一种遥控电子车位锁上传动机构
- 同类专利
- 专利分类
