[发明专利]具有纳米厚度的润滑薄膜的制备方法无效
| 申请号： | 200510126582.9 | 申请日： | 2005-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN1978600A | 公开（公告）日： | 2007-06-13 |
| 发明（设计）人： | 刘维民;于波;周峰;刘刚;梁永民 | 申请（专利权）人： | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| 主分类号： | C10M107/06 | 分类号： | C10M107/06;H01L21/00;B81C1/00;C10N50/02 |
| 代理公司： | 兰州中科华西专利代理有限公司 | 代理人： | 方晓佳 |
| 地址： | 730000甘肃*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有纳米厚度的复合润滑薄膜的制备方法。利用离子液体和皂盐为成膜材料，在清洁的基底材料上和经过简单修饰的基底材料上制备复合润滑薄膜。制备过程和方法简单，得到的复合润滑薄膜厚度为10～20nm，对于多种不同的材料作为摩擦副均具有较好的摩擦学性能，尤其在低载荷高滑动速度下具有很低的摩擦系数和较长的耐磨寿命。具有纳米厚度的复合润滑薄膜可望在硅微型机械、电接触开关、微型驱动装置中得到应用。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 纳米 厚度 润滑 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种具有纳米厚度的复合润滑薄膜的制备方法，其特征在于该方法包括以下步骤：a基底材料的选择选择洁净的单晶硅片、经过硅烷偶联剂处理过的单晶硅片、清洁的玻璃片和经过硅烷偶联剂处理过的玻璃片作为基底材料；b复合薄膜的制备将十八烷酸钾和离子液体1-烯丙基-3-己基咪唑六氟磷酸盐加入到热的无水乙醇中配成溶液，溶液中溶质总质量分数为0.2～0.5％，其中离子液体含量占溶质总质量的5％～50％；采用旋转涂布和浸渍提拉法法制备掺杂离子液体的十八烷酸钾薄膜；c热处理将涂覆于基底材料上的薄膜在80℃～100℃条件下热处理2～4小时。
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