[发明专利]干涉条纹自动对焦与自动检测方法有效
| 申请号： | 200510137455.9 | 申请日： | 2005-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN1991341A | 公开（公告）日： | 2007-07-04 |
| 发明（设计）人： | 陈金亮;高清芬;张中柱 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/45 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人： | 胡光星 |
| 地址： | 台湾省新竹县*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种干涉条纹自动对焦与自动检测方法，适用于光学干涉系统，包括：撷取多个干涉图像。每一该干涉图像是由多个像素所构成，每一上述这些像素有对应的像素强度。记录每一上述这些干涉图像的位置，清晰度与对比度。该清晰度与该对比度是根据清晰度计算与对比度计算获得。分析上述这些干涉图像的上述这些清晰度，获得与上述这些干涉图像位置相对应的清晰度分布曲线，以得出一最佳清晰度位置，作为该光学干涉系统的聚焦位置。分析上述这些干涉图像的上述这些对比度，获得对比度分布曲线。决定干涉扫描范围，其中该对比度分布曲线被独立分析，或是该对比度分布曲线与该清晰度分布曲线被混合分析，以决定该干涉扫描范围。 | ||
| 搜索关键词： | 干涉 条纹 自动 对焦 自动检测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种干涉条纹自动对焦与自动检测方法，适用于光学干涉系统，其特征是包括：撷取多个干涉图像，其中每一该干涉图像是由多个像素所构成，每一上述这些像素有对应的像素强度；记录每一上述这些干涉图像的位置，清晰度与对比度，其中该清晰度与该对比度是根据清晰度计算与对比度计算获得；分析上述这些干涉图像的上述这些清晰度，获得清晰度分布曲线，以得出最佳清晰度位置，作为该光学干涉系统的聚焦位置；分析上述这些干涉图像的上述这些对比度，获得对比度分布曲线；以及决定干涉扫描范围，其中该对比度分布曲线被独立分析，或是该对比度分布曲线与该清晰度分布曲线被混合分析，以决定该干涉扫描范围。
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