[实用新型]大面积平板常压射频冷等离子体放电装置

摘要

本实用新型大面积平板常压射频冷等离子体放电装置，设有两个表面彼此平行且相互绝缘的方形平板电极，一个与射频电源连接，另一个与地连接，在两电极间有间距相等的间隙，在间隙间形成常压射频冷等离子体放电区间，在放电区间两侧和一端设有绝缘材料，绝缘材料使两个电极的两侧和一端密封，在电极密封端开设有多个通气孔，该多个通气孔与放电区间贯通并通过进气导管与供气源连接，在电极的另一端开有长条形开口，通过开口可以输送基片进入等离子体放电区间和取出基片，在地电极的底部设有一个加热器调节地电极的温度，以便控制基片的温度。该设备能在大气压下生产均匀冷等离子体，对放入该等离子体区间的基片材料表面进行表面改性、清洗和刻蚀等。

主权项

1、一种大面积平板常压射频冷等离子体放电装置，包括一外壳、射频电源、供气源、等离子体发生器、温度控制装置和支架等，其特征在于：在一个外壳内，有两个表面彼此平行且相互绝缘的电极，一个与射频电源连接叫射频电极，另一个与地连接叫地电极，在该射频电极和该地电极之间设有一定的间隙，在该间隙形成等离子体的放电区间，在该放电区间的两侧和一端设有绝缘材料，该绝缘材料密封电极的两侧和一端，在两个电极的另一端开设有长条形的开口，在电极的密封端开设有通气孔，该通气孔与放电间隙贯通，并通过进气导管与供气源连接；放电是在常压下进行的。