[实用新型]电感耦合线圈及其电感耦合等离子体装置无效
| 申请号： | 200520001647.2 | 申请日： | 2005-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN2785105Y | 公开（公告）日： | 2006-05-31 |
| 发明（设计）人： | 申浩南 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01F5/00 | 分类号： | H01F5/00;H01F38/14;H05H1/46;H05H1/50;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郑立明 |
| 地址： | 100016北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型所述的电感耦合线圈及其电感耦合等离子体装置，包括反应腔室、石英体，电感耦合线圈，所述电感耦合线圈由两个或两个以上组成；电感耦合线圈在空间堆叠式分布；电感耦合线圈的输入端和输出端分别与电源相连。改变电感耦合线圈的匝数和形状，通过两个或两个以上的电感耦合线圈的组合，达到控制反应腔体中等离子体分布均匀的要求，使晶片表面发生的化学反应速度差异较小，刻蚀速率均匀，提高刻蚀晶片的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 电感 耦合 线圈 及其 等离子体 装置 | ||
【主权项】：
1、一种电感耦合线圈，其特征在于由两个或两个以上的单组电感耦合线圈组成；各组单电感耦合线圈在空间堆叠式分布。
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