[实用新型]计算机控制镀膜装置无效
| 申请号： | 200520042282.8 | 申请日： | 2005-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN2823273Y | 公开（公告）日： | 2006-10-04 |
| 发明（设计）人： | 朱美萍;易葵;郭世海;贺洪波;邵建达;范瑞瑛;范正修;齐红基 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/24 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种计算机控制镀膜装置，包括由光源发射系统、监控片、信号接收系统和锁相放大器四部分组成的光学膜厚监控系统，其特征在于还有带有控制程序的计算机、晶控仪、挡板开关控制电路；所述的控制程序部分包括参数设定模块和数据处理模块。本实用新型消除了由于人为因素导致的稳定性、重复性问题；采用光学监控和晶振监控结合的方法，既可以镀膜规整膜系，又可以镀制非规整膜系。 | ||
| 搜索关键词： | 计算机控制 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
1、一种计算机控制镀膜装置，包括由光源发射系统(18)、监控片(14)、信号接收系统(19)和锁相放大器(12)四部分组成的光学膜厚监控系统，其特征在于还有：带有控制程序的计算机(30)、晶控仪(26)、挡板开关控制电路(20)；所述的晶控仪(26)的晶振头(21)通过屏蔽线经阻抗匹配器(22)和晶控仪(26)相连；所述的晶控仪(26)的蒸发源控制电压输出端(28)通过屏蔽线分别和第一蒸发源(35)、第二蒸发源(24)相连；所述的锁相放大器(12)的RS232串口(34)、晶控仪(26)的RS232串口(33)分别与所述的计算机(30)的第一串口(29)、第二串口(32)相连，该计算机(30)的并口(31)通过屏蔽线经挡板开关控制电路(20)与第一蒸发源挡板控制器(25)和第二蒸发源挡板控制器(27)相连；所述的控制程序包括参数设定模块和数据处理模块。
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