[实用新型]微器件表面形貌的微、纳米测量装置无效
| 申请号： | 200520069706.X | 申请日： | 2005-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN2779383Y | 公开（公告）日： | 2006-05-10 |
| 发明（设计）人： | 范光照;陈叶金;赵静;刘玉圣 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | G01N13/00 | 分类号： | G01N13/00;G01N21/00 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 | 代理人： | 何梅生 |
| 地址： | 230009*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 微器件表面形貌的微、纳米测量装置，其特征是采用集成化的光学读取头，以光学读取头中极光二极管作为激光光源器件，针对激光二极管设置功率控制电路，在光学读取头的四象限电压信号A、B、C、D输出端设置四象限信号放大运算电路，所得(A+C)－(B+D)失焦信号经DSP信号处理接入驱动电路，驱动电路的驱动信号接入光学读取头的音圈马达信号输入端。本实用新型利用已有的光学读取头器件，获得了低成本、高精度的微器件表面形貌的微、纳米测量装置。 | ||
| 搜索关键词： | 器件 表面 形貌 纳米 测量 装置 | ||
【主权项】：
1、微器件表面形貌的微、纳米测量装置，其特征是采用集成化的光学读取头，以光学读取头中极光二极管作为激光光源器件，针对激光二极管设置功率控制电路，在所述光学读取头的四象限电压信号(A、B、C、D)输出端设置四象限信号放大运算电路，所得(A+C)-(B+D)失焦信号经DSP信号处理电路接入驱动电路，所述驱动电路的驱动信号接入光学读取头的音圈马达信号输入端。
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