[实用新型]一种用于电化学机械抛光的抛光部件无效
| 申请号： | 200520103674.0 | 申请日： | 2003-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN2796944Y | 公开（公告）日： | 2006-07-19 |
| 发明（设计）人： | P·D·巴特菲尔德;L-Y·陈;Y·胡;A·P·曼那斯;R·马伍利乌;S·D·蔡;F·Q·刘;R·威登斯维勒 | 申请（专利权）人： | 应用材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵蓉民 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 在电化学机械抛光处理过程中，现有技术的抛光部件不能提供用于与衬底相接触的适当的物理和电气接触。本实用新型提供了一种用于电化学机械抛光的抛光部件，其具有一个球体组件。所述球体组件包括一个具有内部通道的外壳；一个在所述外壳的第一端延伸进所述内部通道的环形座；一个球体，其设置在所述外壳中并由所述座阻止其从所述外壳脱离；一个耦合到所述外壳的第二端的导电适配器；和一个与所述适配器和所述球体电耦合的接触元件。该抛光部件提供了有效的物理和电气接触，适于各工业领域，特别是半导体制造过程中衬底表面的抛光处理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 电化学 机械抛光 抛光 部件 | ||
【主权项】：
1.一种用于电化学机械抛光的抛光部件，其具有一个球体组件，所述抛光部件的特征在于所述球体组件包括：一个具有内部通道的外壳；一个在所述外壳的第一端延伸进所述内部通道的环形座；一个球体，其设置在所述外壳中并由所述座阻止其从所述外壳脱离；一个耦合到所述外壳的第二端的导电适配器；和一个与所述适配器和所述球体电耦合的接触元件。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料有限公司，未经应用材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200520103674.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：全自动采棉机的采摘头
- 下一篇：一种加权抗干扰视频恢复器
