[发明专利]包含疏水区及终点检测口的抛光垫有效
| 申请号： | 200580008353.5 | 申请日： | 2005-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN1933939A | 公开（公告）日： | 2007-03-21 |
| 发明（设计）人： | 阿巴尼什沃·普拉萨德 | 申请（专利权）人： | 卡伯特微电子公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24D13/14 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 宋莉;贾静环 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种包含抛光层(10)的化学机械抛光垫，该抛光层(10)包含疏水区(30)、亲水区(40)及终点检测口(20)。该疏水区实质上与该终点检测口(80)相邻。该疏水区(30)包含具有表面能为34mN/m或更小的聚合材料及具有表面能超过34mN/m的聚合材料。本发明进一步提供一种抛光基材的方法，包括使用该抛光垫。 | ||
| 搜索关键词： | 包含 疏水 终点 检测 抛光 | ||
【主权项】：
1.一种包含抛光层的化学机械抛光垫，该抛光层包括疏水区、亲水区及终点检测口，其中该疏水区实质上邻接终点检测口，且其中该疏水区包含具有表面能为34mN/m或更小的聚合材料及该亲水区包含具有表面能超过34mN/m的聚合材料。
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