[发明专利]永久抗蚀剂组合物、其固化产物及其用途无效
| 申请号： | 200580008836.5 | 申请日： | 2005-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN1934498A | 公开（公告）日： | 2007-03-21 |
| 发明（设计）人： | W·韦伯;森哲;本田那央;D·约翰逊;M·多坎托 | 申请（专利权）人： | 微量化学公司;日本化药株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/038 | 分类号： | G03F7/038 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 陈季壮 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种永久的光致抗蚀剂组合物，其包括：(A)根据式I的一种或更多种双酚A－酚醛环氧树脂；其中：在式I中的每一基团R独立地选自缩水甘油基或氢，和在式I中的k是范围为0－约30的实数；(B)选自式BIIa和BIIb表示的基团中的一种或更多种环氧树脂；其中在式BIIa中的每一R1、R2和R3独立地选自氢或具有1－4个碳原子的烷基，和在BIIa中的数值p是范围为1－30的实数；在BIIb中的数值n和m独立地为范围是1－30的实数，以及在BIIb中的每一R4和R5独立地选自氢、具有1－4个碳原子的烷基或三氟甲基；(C)一种或更多种阳离子光引发剂(也称为光酸生成剂或PAG)；和(D)一种或更多种溶剂。 | ||
| 搜索关键词： | 永久 抗蚀剂 组合 固化 产物 及其 用途 | ||
【主权项】：
1.永久光致抗蚀剂组合物，其包括：(A)根据式I的一种或更多种双酚A-酚醛环氧树脂；其中：![]()
其中在式I中的每一基团R独立地选自缩水甘油基或氢，和在式I中的k是范围为0-约30的实数；(B)选自式BIIa和BIIb表示的组中的一种或更多种环氧树脂；![]()
其中在式BIIa中的每一R1、R2和R3独立地选自氢或具有1-4个碳原子的烷基，和在BIIa中的数值p是范围为1-30的实数；在BIIb中的数值n和m独立地为范围是1-30的实数，以及在BIIb中的每一R4和R5独立地选自氢、具有1-4个碳原子的烷基或三氟甲基；(C)一种或更多种阳离子光引发剂(也称为光酸生成剂或PAG)；和(D)一种或更多种溶剂。
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