[发明专利]形成具有可控和新型微观结构的α和β钽薄膜的方法无效
| 申请号： | 200580016063.5 | 申请日： | 2005-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN1984839A | 公开（公告）日： | 2007-06-20 |
| 发明（设计）人： | J·纳拉彦;P·库马;吴荣祯 | 申请（专利权）人： | H.C.施塔克公司;北卡罗莱纳州立大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;C23C14/16;C23C16/06;C23C14/54;C30B23/00;C30B29/02;C30B25/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 段晓玲 |
| 地址： | 美国麻*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供了具有新型微观结构的钽薄膜。所述薄膜具有微观结构，例如纳米晶体、单晶和无定形。这些薄膜具有优异的扩散阻挡性能并可用于微电子器件。本发明还提供了使用脉冲激光淀积(PLD)和分子束外延(MBE)淀积法形成所述薄膜的方法以及掺入这些薄膜的微电子器件。 | ||
| 搜索关键词： | 形成 具有 可控 新型 微观 结构 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
1.一种具有纳米晶体微观结构的钽薄膜，其特征在于在2θ＝38°处的宽X射线衍射峰和连续的电子衍射环。
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