[发明专利]电子束绘制装置无效
| 申请号： | 200580020456.3 | 申请日： | 2005-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN1981243A | 公开（公告）日： | 2007-06-13 |
| 发明（设计）人： | 北原弘昭 | 申请（专利权）人： | 日本先锋公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G11B5/84;G11B7/24;H01J37/305 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 孙志湧;陆锦华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种可容易地调节光束和旋转中心而不会使装置尺寸增加的电子束绘制装置，该装置包括：电子束发射单元，可旋转地支撑保持绘制对象的转盘的旋转平台，以及被转盘支撑在包括转盘的旋转中心的范围内并保持调节样品的样品平台。当转台旋转期间将电子束施加到绘制对象时，能够在绘制对象上绘制旋转对称图案(诸如同心形，放射形)。当在绘制对象上实际绘制图案之前，利用调节样品来调节光束和旋转中心时，调节样品通过样品平台来保持并且样品平台被转盘支撑在包括转盘的旋转中心的范围内。因此，利用转盘上支撑的调节样品可调节光束和旋转中心，从而消除了对单独的调节样品安装平台的需求，从而可使该装置小型化。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束 绘制 装置 | ||
【主权项】：
1.一种电子束绘制装置，包括：电子束发射单元，该电子束发射单元发射电子束；旋转平台，该旋转平台可旋转地支撑用于保持绘制对象的转盘；以及样品平台，该样品平台被转盘支撑在包括转盘的旋转中心的范围内，用于保持调节样品。
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