[发明专利]薄膜保持装置无效
| 申请号： | 200580021503.6 | 申请日： | 2005-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN1977065A | 公开（公告）日： | 2007-06-06 |
| 发明（设计）人： | 山田秀夫;石田毅;市川努 | 申请（专利权）人： | 日本先锋公司 |
| 主分类号： | C23C14/20 | 分类号： | C23C14/20;C23C14/24;H05B33/10;H05B33/14 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种薄膜保持装置，能提高薄膜的平面度且能提高薄膜的加工精度。该薄膜保持装置(150)包括：保持边(102)以使薄膜(101)的正反两面露出的夹持部(152)、保持边(103)以使薄膜(101)的正反两面露出的夹持部(153)、支承夹持部(153)能向X方向(106)移动的直动部(161)、支承夹持部(153)能向Y方向(107)移动的直动部(162)、支承夹持部(152)、(153)能向θ方向(108)转动的转动部(163、164)、把夹持部(153)向离开夹持部(152)的方向施力的施力部(171)。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 保持 装置 | ||
【主权项】：
1、一种薄膜保持装置，其保持具有一对边和另一对边的薄膜，其特征在于，该薄膜保持装置包括：第一保持部，其保持所述一对边的一侧以把所述薄膜的正反两面露出；第二保持部，其保持所述一对边的另一侧以把所述薄膜的正反两面露出；第一支承机构，其支承所述第一保持部和所述第二保持部的至少任一个能向与所述一对边正交的方向移动；第二支承机构，其支承所述第一保持部和所述第二保持部的至少任一个能向与所述一对边平行的方向移动；第三支承机构，其支承所述第一保持部和所述第二保持部的至少任一个能绕与所述薄膜正交的轴转动；第一施力机构，其对所述第一保持部和所述第二保持部的至少任一个向从另一个离开的方向施力。
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