[发明专利]通过将等离子体中的电弧电流早期分流而快速灭弧的设备和方法无效
| 申请号： | 200580022284.3 | 申请日： | 2005-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN101076425A | 公开（公告）日： | 2007-11-21 |
| 发明（设计）人： | 米兰·伊利克;卡利安·N·C·西德巴图拉;安德雷·B·马利宁 | 申请（专利权）人： | 先进能源工业公司 |
| 主分类号： | B23K9/00 | 分类号： | B23K9/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 韩宏 |
| 地址： | 美国科*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供了一种操作直流等离子体工艺的新的设备和方法，其在出现电弧时将来自等离子体的电源电流分流，由此抑止能量从电源流向等离子体，以及然后当电源重新激活向等离子体的能量流时，再次允许能量流动。分流装置连接到电源的输出，以在电弧产生时将电流从该等离子体分流出去，其中，当在输出检测到电弧时激活该分流装置并且将该电流分流第一预定时间。在该第一预定时间结束、该电流到达零之前，切断该分流装置，其中电流重新流向该等离子体；而且如果该电弧没有熄灭，则在第二预定时间结束时重新激活该分流装置。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 等离子体 中的 电弧 电流 早期 分流 快速 设备 方法 | ||
【主权项】：
1、用于直流等离子体工艺的设备，包括：a)用于等离子体处理的腔，具有包括在其中的至少两个电极；b)电源，用于向所述电极提供电压以点燃等离子体并输送能量；以及c)连接到该电源的输出端的分流设备，用于在电弧产生时从该等离子体分流电流，其中，当在该输出端检测到该电弧时激活该分流装置并且其将该电流分流第一预定时间；在该电流到达零之前、该第一预定时间结束时，切断该分流装置，其中电流重新流向该等离子体；而且如果该电弧没有熄灭，则在第二预定时间结束时重新激活该分流装置。
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