[发明专利]从超高纯度气体中除去金属污染物无效
| 申请号： | 200580024531.3 | 申请日： | 2005-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN1988948A | 公开（公告）日： | 2007-06-27 |
| 发明（设计）人： | 小丹尼尔·阿尔瓦雷斯;特洛伊·B.·斯科金斯;湛·端·阮;大屋敷靖 | 申请（专利权）人： | 安格斯公司 |
| 主分类号： | B01D53/02 | 分类号： | B01D53/02;C01B3/56;C01B6/34;C01B25/06;C01B33/04;C01B35/02 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 于辉 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明是从超高纯度气体中除去金属化合物的方法和设备，其使用包含高表面积无机氧化物的净化材料从超高纯度气体中除去金属化合物，从而金属不沉积在敏感的器件上并且引起器件故障。 | ||
| 搜索关键词： | 超高 纯度 气体 除去 金属 污染物 | ||
【主权项】：
1.一种从超高纯度气流中除去金属污染物的方法，其通过使超高纯度气流与包含高表面积的无机氧化物的净化材料接触，所述氧化物包含配位数低于体相氧原子的表面氧原子。
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