[发明专利]具有多微孔区域的抛光垫有效
| 申请号： | 200580029151.9 | 申请日： | 2005-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN101068656A | 公开（公告）日： | 2007-11-07 |
| 发明（设计）人： | 阿巴尼施瓦·普拉萨德 | 申请（专利权）人： | 卡伯特微电子公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24D13/14 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 宋莉;贾静环 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于化学－机械抛光的抛光垫，其包括聚合材料，该聚合材料包括两个或多个相邻区域，该区域具有相同的聚合物组成且在该区域之间的过渡不包含结构上明显的边界。在第一实施方式中，第一区域及第二相邻区域分别具有第一及第二非零空隙体积，其中该第一空隙体积系小于该第二空隙体积。在第二实施方式中，第一非多孔区域相邻于第二相邻多孔区域，其中该第二区域具有50μm或更小之平均孔径。在第三实施方式中，光学透射区域、第一多孔区域及任选的第二多孔区域中的至少两个为相邻的。本发明进一步提供包括使用该抛光垫的抛光基板的方法和制造该抛光垫的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 微孔 区域 抛光 | ||
【主权项】：
1.一种用于化学-机械抛光的抛光垫，其包括多孔聚合材料，该多孔聚合材料包括具有第一空隙体积的第一区域及具有第二空隙体积的第二相邻区域，其中：(a)该第一空隙体积及该第二空隙体积非零，(b)该第一空隙体积小于该第二空隙体积，(c)该第一区域及该第二区域具有相同的聚合物组成，且(d)在该第一与该第二区域之间的过渡区不包含结构上明显的边界。
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