[发明专利]周期表第13族金属氮化物结晶的制造方法以及使用其的半导体器件的制造方法有效
| 申请号： | 200580029397.6 | 申请日： | 2005-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN101010453A | 公开（公告）日： | 2007-08-01 |
| 发明（设计）人： | 有田阳二;关义则;田原岳史;佐藤让 | 申请（专利权）人： | 三菱化学株式会社 |
| 主分类号： | C30B29/38 | 分类号： | C30B29/38;C30B9/14;H01L33/00;H01S5/323 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 张平元;赵仁临 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及周期表第13族金属氮化物结晶的制造方法，其中，边进行周期表第13族金属合金相和含有氮化物的熔融盐相的反应，边从反应场中除去含有周期表第13族金属以外的金属元素的副产物，使周期表第13族金属氮化物结晶成长。按照该方法，可以在低压或常压下制造优质的周期表第13族金属氮化物块状结晶。 | ||
| 搜索关键词： | 周期表 13 金属 氮化物 结晶 制造 方法 以及 使用 半导体器件 | ||
【主权项】：
1.一种周期表第13族金属氮化物结晶的制造方法，其中，将含有第13族金属元素的液相(A)与液相(b1)、固相(b2)或液相(b3)中的任何一相(B)进行反应，同时从反应场中除去由该反应生成的含有周期表第13族金属以外的金属元素的副产物，使第13族金属氮化物结晶生长，所述液相(b1)是将含有周期表第13族以外的金属元素的氮化物溶解在熔融盐中的液相；所述固相(b2)或液相(b3)包含复合氮化物，该复合氮化物含有周期表第13族金属元素和周期表第13族以外的金属元素。
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