[发明专利]为声能源供电的系统和方法及其在基板处理中的使用有效
| 申请号： | 200580030943.8 | 申请日： | 2005-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN101124053A | 公开（公告）日： | 2008-02-13 |
| 发明（设计）人： | J·科贝勒;I·卡什科什;J·沃柯特;M·彼得斯 | 申请（专利权）人： | 艾奎昂技术股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B7/04 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 钱慰民 |
| 地址： | 美国特*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种为声能源供电的系统和方法，它能使处理过程中对基板器件的损伤最少，同时提高处理效率和/或效果。该系统和方法利用这样的原理：使驱动声能源的电信号的振幅斜变和/或频率改变，由此导致作用于基板的结果所得的声能的振幅和频率的相应斜变和/或改变。一种用声能处理基板的方法包括：a)将至少一块基板支承在处理腔内；b)产生一基带电信号；c)将基带电信号传送至放大器，该放大器将基带电信号转换成具有峰值振幅的输出电信号；d)将输出电信号传送至换能器，该换能器将输出电信号转换成相应的声能；e)将声能作用于支承在处理腔内的该至少一块基板；以及f)使输出电信号的峰值振幅斜变。 | ||
| 搜索关键词： | 能源 供电 系统 方法 及其 处理 中的 使用 | ||
【主权项】：
1.一种用声能处理基板的方法，包括：a)将至少一块基板支承在处理腔内；b)产生基带电信号；c)将所述基带电信号传送至放大器，所述放大器将所述基带电信号转换成具有峰值振幅的输出电信号；d)将所述输出电信号传送至换能器，所述换能器将所述输出电信号转换成相应的声能；e)将所述声能作用于支承在所述处理腔内的所述至少一块基板；以及f)使所述输出电信号的峰值振幅斜变。
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