[发明专利]等离子加工设备有效
| 申请号： | 200580031890.1 | 申请日： | 2005-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN101023713A | 公开（公告）日： | 2007-08-22 |
| 发明（设计）人： | 武内稔公;中岛节男;斋藤直道;西川理 | 申请（专利权）人： | 积水化学工业株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24;H01L21/3065;C23C16/50 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 陈平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提出了一种等离子加工设备，其中电极与壳体之间的绝缘得到提高，并可以从外部控制电极的温度。固体电介质(50)形成在电极(30)的放电空间形成表面上。电极(30)以在放电空间形成表面上的固体电介质(50)被露出的方式放置在壳体(20)内。壳体内的空间(29)，即壳体(20)与壳体内部的电极(30)之间的空间，填充有大体上纯净的氮气，氮气的压力比放电空间内的压力设定得大些。优选地，氮气是循环的。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子 加工 设备 | ||
【主权项】：
1、一种通过将加工气体引入到放电空间内实施等离子加工的设备，所述等离子加工设备包括：电极，所述电极具有形成所述放电空间的表面，设置在所述放电空间形成表面处的固体电介质；和壳体，所述壳体以围绕所述电极的方式容纳所述电极，从而设置在所述放电空间形成表面处的所述固体电介质被露出，壳体内空间形成在所述壳体与容纳在所述壳体内的所述电极之间，所述壳体内空间填充有大体上纯净的氮气。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于积水化学工业株式会社，未经积水化学工业株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200580031890.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：地坪变形缝装置
- 下一篇：城市道路路缘及路缘石清洗车
