[发明专利]用于测量导电薄片材料中迁移率和薄层电荷密度的装置和处理系统

摘要

一用于非接触地测量薄层电荷密度和迁移率的装置(10)包括一微波源(16)，一圆波导(50)，用于向在一测量位置的一样本(59)，如用于平板显示器的一半导体晶片或板，传输微波功率，用于检测该正向微波功率的一第一检测器(18)，用于检测从该样本反射的微波功率的一第二检测器(23)，和用于检测霍尔效应功率的一第三检测器(95)。还提供一自动定位子系统(700)，用以在该测试装置(10)内自动定位一晶片(59)。该定位系统(700)包括一第一末端效应器(706)和一旋转－提升器(704)。该第一末端效应器(706)可夹持一薄片元件并将它移动到该测试装置(10)内的一所需位置，同时该旋转提升器(704)提供该薄片元件(59)的一θ角度逐渐增加的调节，以允许勿需手动调节该薄片元件的位置即可自动绘制一完整的薄片元件的图。一第二末端效应器(716)可对着该第一末端效应器(706)安装，且可用于在位于装置(10)的一相对末端的一薄层电阻测验模块(718)内自动放置该薄片元件(59)。

主权项

1、一种用于测量导电薄片材料中迁移率和薄层电荷密度的装置，包括：一微波源；一第一波导，被设置成从所述微波源接收微波功率；一可调节固定件，适合于可调节地放置一具有多个测量位置的薄片材料元件以接收从所述第一波导传输的微波功率；一磁体，被设置成在测试位置产生一磁场；一第一检测器，用于检测该微波功率源的功率；一第二检测器，用于检测从该测量位置内一薄片材料元件反射的微波功率的功率；一第三检测器，用于检测一霍尔效应微波功率。