[发明专利]具有干燥功能的晶片边缘轮有效
| 申请号： | 200580033396.9 | 申请日： | 2005-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN101031765A | 公开（公告）日： | 2007-09-05 |
| 发明（设计）人： | J·帕克斯 | 申请（专利权）人： | 兰姆研究有限公司 |
| 主分类号： | F26B7/00 | 分类号： | F26B7/00;F26B17/24;F26B13/30;F26B5/08 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 范晓斌;黄力行 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于支撑及旋转一盘形基板的边缘轮，包括：轮本体，具有用于支撑基板边缘的周边沟槽；以及至少一个径向通道，该径向通道从该周边沟槽延伸进入该轮本体。同时也记载了一种边缘轮干燥器及一种处理盘形基板的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 干燥 功能 晶片 边缘 | ||
【主权项】：
1.一种边缘轮组件，用于盘形基板处理设备，所述边缘轮组件包括：边缘轮，包括：具有沟槽的轮本体，该沟槽形成在所述轮本体的外周中，所述沟槽用于啮合所述基板的边缘；通孔，所述通孔形成于该边缘轮的轴线处；以及径向通道，所述径向通道从所述沟槽向内延伸；以及轴，所述轴延伸通过所述通孔，当所述边缘轮在所述轴上旋转时，所述径向通道与一静止孔口成至少周期性的流体连通，所述静止孔口在所述边缘轮和所述轴之一上。
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