[发明专利]固态浸没透镜微影术无效
| 申请号： | 200580033714.1 | 申请日： | 2005-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN101124521A | 公开（公告）日： | 2008-02-13 |
| 发明（设计）人： | R·R·戈鲁甘苏;M·R·布鲁斯 | 申请（专利权）人： | 先进微装置公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 戈泊;程伟 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 揭露一种使用固态浸没透镜的微影术。于一实施态样中，提供一种包含具有第一面和第二面之抗蚀膜(resist film)的装置，其中，该第二面为第一面的相对面。将一个或多个固态浸没透镜设置于该抗蚀膜的第一面之上。于另一实施态样中，提供一种制造方法，包括形成抗蚀膜以及利用穿透过一个或多个固态浸没透镜的辐射使该抗蚀膜曝光。 | ||
| 搜索关键词： | 固态 浸没 透镜 微影术 | ||
【主权项】：
1.一种装置，包括：具有第一面及第二面的抗蚀膜(40)，其中，该第二面为第一面的相对面；以及位于该抗蚀膜(40)的第一面上的一个或多个固态浸没透镜(56)。
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