[发明专利]用于微型面镜装置的撑柱有效
申请号: | 200580035358.7 | 申请日: | 2005-08-15 |
公开(公告)号: | CN101088037A | 公开(公告)日: | 2007-12-12 |
发明(设计)人: | 石井房雄 | 申请(专利权)人: | 石井房雄 |
主分类号: | G02B7/182 | 分类号: | G02B7/182;G02B26/00 |
代理公司: | 北京天平专利商标代理有限公司 | 代理人: | 孙刚;赵海生 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 一个改良的微行面镜装置用的撑柱由导电掺杂半导体组成,并且在常温和极端温度下不受塑胶变形的影响。该撑柱是直接连接到微行面镜装置上,并使光学平面微镜的制作更容易。这就消除了由于微镜反射表面上凹坑所引起的夫琅和费衍射。此外,该撑柱避开了入射光照射从而改善了对比度和占空因数。 | ||
搜索关键词: | 用于 微型 装置 | ||
【主权项】:
1.一个微行面镜装置用的撑柱包含一掺杂半导体,其中所述撑柱不被入射光照射并且是从一组包含悬臂支架撑柱,垂直悬臂支架撑柱,扭转撑柱和复合扭转垂直悬臂支架撑柱中选取的一个类型。
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