[发明专利]根据加权主成分分析的错误侦测系统与方法有效
| 申请号： | 200580036619.7 | 申请日： | 2005-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN101048711A | 公开（公告）日： | 2007-10-03 |
| 发明（设计）人： | M·A·珀迪 | 申请（专利权）人： | 先进微装置公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418;G05B23/02 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 戈泊;程伟 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种用来执行动态加权技术以执行错误侦测之方法、装置、以及系统。该方法包含下列步骤：处理工件；以及执行与该工件的处理有关的错误侦测分析。该方法进一步包含下列步骤：决定该错误侦测分析有关的参数与被侦测到的错误间的关系；以及根据该参数与该被侦测到的错误间之该关系，而调整与该参数相关联的加权。 | ||
| 搜索关键词： | 根据 加权 成分 分析 错误 侦测 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种方法，包含下列步骤：处理工件(105)；执行与该工件(105)的该处理有关的错误侦测分析；决定该错误侦测分析有关的参数与被侦测到的错误间的关系；以及根据该参数与该被侦测到的错误间的该关系，而调整与该参数相关联的加权。
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