[发明专利]搬运系统、基板处理装置以及搬运方法无效
| 申请号： | 200580036730.6 | 申请日： | 2005-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN101048327A | 公开（公告）日： | 2007-10-03 |
| 发明（设计）人： | 浅川辉雄 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | B65G47/46 | 分类号： | B65G47/46;B65G49/07;B65G47/88;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 柳春雷 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在本发明中，搬运系统(1)铺设了通过被设置在各处理装置(10)、(100)、(200)前面侧的载置台(11)等的下方、由覆盖体(5)覆盖的搬运路径。由于将搬运路径的位置设在下方，载置台(11)等的占有区域和搬运路径所涉及的区域的一部分被共享，从而节省了空间，并提高从处理装置(10)、(100)等的前方的访问性，实现了容易进行维护的布局。载置台(11)等的载置面(11d)等设置成已有的高架搬运系统和地面搬运系统的无人搬运车(3)的可载置的高度，确保和其他搬运系统的共存性。 | ||
| 搜索关键词： | 搬运 系统 处理 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
1.一种搬运系统，包括：搬运路径，依次搬运搬运单位是单个或者多个的被搬运体；和载置台，在能载置被搬运体的载置面上具有一个或者多个载置区域，所述搬运系统的特征在于，所述搬运路径在将所述载置台的地面占有部分在竖直方向投影所得的空间区域内横穿，并配置在所述载置台的载置面的下方，所述搬运系统还包括：移动装置，将由所述搬运路径搬运而从所述空间区域内通过的一个被搬运体移动到和其他被搬运体不干涉位置。
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