[发明专利]用于在光致抗蚀剂图案上涂覆的组合物无效
| 申请号： | 200580038784.6 | 申请日： | 2005-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN101057185A | 公开（公告）日： | 2007-10-17 |
| 发明（设计）人： | 工藤隆范;M·帕德曼纳班;R·R·达莫尔 | 申请（专利权）人： | AZ电子材料美国公司 |
| 主分类号： | G03F7/40 | 分类号： | G03F7/40 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王健 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及用于涂覆光致抗蚀剂图案的水性涂料组合物，其包含含氨基的聚合物。本发明还涉及微电子元件的制造方法，包括：提供具有光致抗蚀剂图案的衬底，用新型涂料涂覆所述光致抗蚀剂图案，让与所述光致抗蚀剂图案接触的涂料的一部分反应，和将没有与移除溶液反应的涂料的一部分除去。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光致抗蚀剂 图案 上涂覆 组合 | ||
【主权项】：
1.用于涂覆光致抗蚀剂图案的水性涂料组合物，其包含含氨基的聚合物。
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