[发明专利]硫酸循环型清洗系统以及硫酸循环型过硫酸供给装置有效
| 申请号： | 200580039376.2 | 申请日： | 2005-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN101061261A | 公开（公告）日： | 2007-10-24 |
| 发明（设计）人： | 永井达夫;池宫范人;山川晴义;小林秀树;森田博志 | 申请（专利权）人： | 栗田工业株式会社 |
| 主分类号： | C25D1/22 | 分类号： | C25D1/22;C25B1/28;B08B3/08;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 孙秀武;李炳爱 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在使用过硫酸的清洗系统中，过硫酸浓度足够高、可提高清洗效果，同时得到可持续清洗的清洗系统。本发明提供向清洗装置供给过硫酸的供给装置。其具备：电解反应池(10)：通过电解反应由溶液中所含的硫酸离子生成过硫酸离子，再生过硫酸溶液；循环线路(4)、(5)、(6)：使过硫酸溶液在清洗池(1)和电解反应池(10)之间循环。通过该构成可得到供给装置。通过上述构成以及以过硫酸溶液(2)作为清洗液清洗被清洗材料(30)的清洗池(1)构建清洗系统。 | ||
| 搜索关键词： | 硫酸 循环 清洗 系统 以及 供给 装置 | ||
【主权项】：
1.硫酸循环型清洗系统，其特征在于：该系统具备以过硫酸溶液作为清洗液、清洗被清洗材料的清洗装置；通过电解反应由溶液中所含的硫酸离子生成过硫酸离子，再生过硫酸溶液的电解反应装置；使上述过硫酸溶液在上述清洗装置和电解反应装置之间循环的循环线路。
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