[发明专利]具有压电块的微机电装置及其制作方法有效
| 申请号： | 200580040482.2 | 申请日： | 2005-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN101065855A | 公开（公告）日： | 2007-10-31 |
| 发明（设计）人： | 安德列亚斯·拜布尔;约翰·A·希金森 | 申请（专利权）人： | 富士胶卷迪马蒂克斯股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/09 | 分类号： | H01L41/09;B41J2/14 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波 |
| 地址： | 美国新罕*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 描述了具有压电驱动器(104)的结构的微机电系统。各个驱动器包括由主体(200)支撑的压电岛。该压电岛部分地通过下述步骤形成：在压电材料厚层内形成切口(145)，将该切割的压电层(107)附着到具有蚀刻特征的所述主体(200)，以及将该压电层研磨至小于切口(140)深度的厚度。导电材料(158、210)可以形成于压电层上以形成电极(106、112)。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 压电 微机 装置 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种微机电装置，包括：具有多个腔体的主体；由所述主体支撑的多个压电岛，其中各个所述压电岛具有第一表面、与所述第一表面相对的第二表面、以及与所述第一和第二表面相交的第三平面表面；以及在所述第一表面上的导电材料以及在所述压电岛第二表面上的导电材料，其中至少一个所述多个压电岛置为基本上毗邻所述多个腔体的相应腔体，其中至少一个所述压电岛具有在所述第三表面上的导电材料，所述第三表面上的导电材料电学接触在第一和第二表面上的导电材料。
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