[发明专利]用于真空泵的前级管道预调节有效
| 申请号： | 200580041324.9 | 申请日： | 2005-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN101069017A | 公开（公告）日： | 2007-11-07 |
| 发明（设计）人： | C·M·贝里;M·S·宝格 | 申请（专利权）人： | 波克股份有限公司 |
| 主分类号： | F04B25/00 | 分类号： | F04B25/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 马洪 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明是一种用于对若干包含不相容气体的真空处理室进行抽真空的装置和方法。气体被引导至包含预调节装置的低于大气压的消减室。在消减室中处理气体以使它们相容。然后，通过前级泵将相容的气体作为单个气流而从消减室中抽走。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 真空泵 管道 调节 | ||
【主权项】：
1.一种用于对包含不相似气体的至少两个处理真空室(330、331)进行排气的真空排气装置(300)，包括：低于大气压的消减室(310)，具有至少两个入口(340、341)和一个出口(360)，所述至少两个入口从所述至少两个处理真空室中接纳气体；前级泵(370)，连接至所述低于大气压的室的所述出口，用于在所述室内保持真空；所述低于大气压的消减室包含至少一个预调节器(350)，用于对从所述处理真空室的接纳气体中的至少一种以不同于所述气体中的另一种的方式进行调节，由此将所述气体变成相容的以用于混合。
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