[发明专利]用于离子束植入器的波纹管式套管无效
| 申请号： | 200580041406.3 | 申请日： | 2005-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN101069261A | 公开（公告）日： | 2007-11-07 |
| 发明（设计）人： | L·史东;S·巴鲁梭;D·史东;A·裴瑞尔 | 申请（专利权）人： | 艾克塞利斯技术公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 崔幼平;谭祐祥 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种离子束植入器(10)包括：束形成及指向装置(50)；及，一植入站，其中工件自一离子束的离子而植入。该束沿着自一离子源行进至植入站之一真空路径。一种可挠性的波纹管(100)将该植入站耦接至束形成及指向装置，其允许该植入站为关于束形成及指向装置而枢转且藉以改变关于离子束的工件的植入方位。一种可更换、可挠性的波纹管式套管(70)配置于波纹管之一内部区域，以降低其沉积于波纹管之一内部表面的植入副产物之量。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 离子束 植入 波纹管 套管 | ||
【主权项】：
1.一种离子束植入器，用于将一离子束针对于一工件而指引，该植入器包含：a)一植入站，界定一真空的植入室，该工件支撑于该植入室之内；b)束形成及指向装置，界定一真空的离子束植入器内部区域，离子束通过其内部区域途径至该植入站；c)一可挠性波纹管，配置于该植入站与该束形成及指向装置之间，使该植入站关于该束形成及指向装置而可移动，该波纹管界定一真空的内部区域，其中离子束会通过；及d)一可挠性波纹管式套管，定位于该波纹管内部区域之内，用于收集于该工件的植入期间所产生的植入副产物，以降低其沉积于该波纹管之一内部表面的植入副产物的量。
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