[发明专利]用于显微光刻投影曝光装置的传输光学元件和物镜有效
| 申请号： | 200580042032.7 | 申请日： | 2005-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN101073021A | 公开（公告）日： | 2007-11-14 |
| 发明（设计）人： | W·克劳斯;M·托特泽克;W·米勒－里斯曼 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT股份公司 |
| 主分类号： | G02B1/02 | 分类号： | G02B1/02;C04B35/443;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 曾祥夌;王小衡 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种适于在显微光刻投影曝光装置的物镜中使用的传输光学元件(33，37)由多晶材料(100)组成，其中多晶材料(100)具有立方晶体结构的微晶(102)，并且这些微晶(102)的平均微晶尺寸至少是(0.5)微米和至多是(100)微米。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 显微 光刻 投影 曝光 装置 传输 光学 元件 物镜 | ||
【主权项】：
1.适于在显微光刻术的投影曝光装置(1)的物镜(11)中使用的传输光学元件(33)，它由多晶材料(100)组成。
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